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母盘制作过程对工艺要求是极为严格的,生产中的任何环节度出问题都可能造成目盘缺陷而
报废，所以车间的环境、操作人员的水平直接影响到母盘的质量。母盘的缺陷分为电气性能
和外观两个方面，它们的解决方法也不同：
电气性能主要表现在：
1、BLER太高 2、I3/I11太高 3、I3/I11太低 4、SYM/ASYM太高或太低
5、PUSH PULL 太高或太低 6、读取TOC出错 7、有E32或E22太多 8、REF太高
9、RN太高
外观缺陷主要表现以下方面：
1、版面上出现一圈圈的环状带
2、版面有污点
3、无法显影
4、玻璃片上有凝块
5、版面出现同心圈状条纹
6、出现马蹄形物
7、感光胶出现径向条纹
8、玻璃表面出现环绕污点
9、母盘外圈出现手指形状的黑色印
10、从中心向外辐射的径向条纹带
11、在显微镜下看有泡或镍松弛
12、划伤
13、云彩
14、鱼眼
15、在程序区出现没有坑的环绕黑点
16、电铸时接触环部分松脱
17、电铸时接触环完全松脱
18、母盘的背面有氨基磺酸晶体
19、版的信息中心部分由蓝色/褐色的污点
20、在程序区的中心或内圈有轻微的黑环
21、版中心孔没有镍
22、烧伤
23、信息去外围出现不规则的白色乳状污迹
24、黄色/褐色的污迹覆盖在整个信息区
25、镍层太早分离玻璃片
26、褐色污迹
27、结晶很明显
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